產品簡介

神視SUNX晶圓定位傳感器簡介
測量距離45mm
檢測物體3英寸以上的半導體晶圓（注2）
可對應檢測面有受光方向反射面的端面形狀的檢測面（注3）
檢測角度12.5±5°（注4）
晶圓間距間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測（注5）
適用晶圓盒SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

神視SUNX晶圓定位傳感器簡介

特點

安全性的LED式

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，十分危險。

M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

安全性的LED式

亦可檢測玻璃晶圓

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

亦可檢測玻璃晶圓

可檢測涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

0.5ms的高速反應

實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置檢測

利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

基于2段受光元件的高精度位置檢測

可從四個方向引出電纜

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傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜。可根據傳感器的設置情況靈活調節。

可從四個方向引出電纜

內置放大器的小巧、輕盈型

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，約為75g的小巧、輕盈型。

內置放大器的小巧、輕盈型

神視SUNX晶圓定位傳感器簡介