產品簡介

選型資料SMC內置壓力表型減壓閥
高精度、低消耗流量的不銹鋼減壓閥。
?泄氣量0.5L/min（ANR）以下（出口壓力：0.2MPa時）。
?設定靈敏度：0.3％F.S.
?重復性：1％F.S.

選型資料SMC內置壓力表型減壓閥

接液部件材料包括

隔膜SUS316（含氟聚合物座椅）

Ni-Cr-Mo合金內件可用于耐腐蝕

從半導體到一般均可使用的標準型。

接液部用硫酸充填放置30分鐘。

將硫酸廢棄后用純水沖，測定并記錄從試件出口側排出的液體的抵抗率。

使用型號: SRF30

※本資料所記載的數值是實際測量值的例子。另外，對于結果并不。

?產品體型小、重量輕。

　：0.52kg、高：97.5mm。

?內部容積小，其體積存量少。

?配管擴展品

壓力大于設定值時向大氣排氣，保持配管內壓力穩定。

· Rc, R and NPT connections are added to series.

· For wide variety of applications from semiconductor to general.

· Cleaned for O2 service.

· Compact and lightweight by making the actuator shorter. (AK3542/4542)

· M5 actuation port. (AK3542/4542)

· Compact and lightweight by modifying the knob design. (AK3652/4652)

· The knob is a unique design that combines a scalloped round knob with a raised

rectangular section to provide two choices of gripping. (AK3652/4652)

SMC減壓閥特點

●體積小，重量輕。

● 比傳統的精密減壓閥IR200輸出流量大。

● 比傳統的精密減壓閥IR200溢流流量大。

● 壓力設定。

● 調節螺釘的齒間距由傳統的0.75mm改為0.5mm。

● 安裝方便，可用托架獨立安裝或與現在的模塊式過濾組合元件AF及AFM直接安裝。

● 標準型也帶面板安裝。

● 導排氣口與主排氣口分開。

● 可在潔凈房使用(特注產品)。

選型資料SMC內置壓力表型減壓閥